当前位置：
产品介绍
- 🎯
≤ 2 µrad 精度
面向顶级高速扫描方案
- 🚀
50000 mm/s 定位
适配超快激光精密微加工
- 🏗️
SLM 适配
面向金属增材制造与半导体
产品参数 Product parameters
| 通光孔径 | 10.5 mm |
|---|---|
| 线性度 | > 99.6 % |
| 重复精度 | < 2 µrad |
| 小步阶响应时间 | 0.21 ms |
| 追踪时间 | 0.15 ms |
| 标记速度 | 20000 mm/s |
| 定位速度 | 50000 mm/s |
| 扫描角度 | ± 16.5° |
| 入射光斑 | 10 mm |
| 增益漂移 | < 80 ppm/K |
| 零点漂移 | < 30 µrad/K |
| 8小时温漂（预热30分钟后） | < 0.2 mrad |
| 供电电源 | ± 15 V / 3 A |
| 输入信号协议 | XY2-100 |
| 镜片反射波长 | 355 / 532 / 1064 / 10600 nm |
| 镜片材质 | Si |
| 外形尺寸 | 85 × 87 × 110 mm |
产品详情 Details
顶级高速扫描方案：≤ 2 µrad 极限精度，专为 SLM、超快激光与精密微加工设计。
典型应用 Application Scenarios
