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激光振镜

参数	H10-I 高速式扫描振镜	F10-II 飞行式喷码振镜	S10-I 静态式扫描振镜	CS10-I 静态式扫描振镜	S16-I 静态式扫描振镜	Pocket-P3 / P5 迷你激光振镜	S20-I 静态式扫描振镜	G08-I 手持式扫描振镜
通光孔径	10.5 mm	10 mm	10 mm	10 mm	16 mm	—	20 mm	9 mm
线性度	> 99.6 %	> 99 %	> 99 %	> 99 %	> 99 %	≥ 99.9 %	—	> 99 %
重复精度	< 2 µrad	< 2 µrad	< 2 µrad	< 5 µrad	< 2 µrad	4 ~ 8 µrad	< 2 µrad	< 2 µrad
小步阶响应时间	0.21 ms	0.3 ms	0.3 ms	0.3 ms	0.45 ms	—	0.45 ms	0.4 ms
追踪时间	0.15 ms	0.2 ms	0.3 ms	0.3 ms	0.4 ms	—	—	0.2 ms
标记速度	20000 mm/s	10000 mm/s	4000 mm/s	4000 mm/s	5000 mm/s	—	5000 mm/s	8000 mm/s
定位速度	50000 mm/s	30000 mm/s	10000 mm/s	10000 mm/s	10000 mm/s	—	10000 mm/s	20000 mm/s
扫描角度	± 16.5°	± 16.5°	± 16.5°	± 16.5°	± 16.5°	± 25°	—	± 16.5°
入射光斑	10 mm	10 mm	10 mm	—	16 mm	8 / 10 / 14 mm	20 mm	8.5 mm
增益漂移	< 80 ppm/K	< 40 ppm/K	< 50 ppm/K	< 50 ppm/K	< 50 ppm/K	—	< 50 ppm/K	< 50 ppm/K
零点漂移	< 30 µrad/K	< 30 µrad/K	< 35 µrad/K	< 35 µrad/K	< 35 µrad/K	≤ 25 µRad/°C	< 35 µrad/K	< 35 µrad/K
8小时温漂（预热30分钟后）	< 0.2 mrad	< 0.2 mrad	< 0.5 mrad	< 0.5 mrad	< 0.5 mrad	—	—	< 0.2 mrad
供电电源	± 15 V / 3 A	± 15 V / 3 A	± 15 V / 3 A	12 / 24 / 36 V 可选	± 15 V / 3 A	—	± 15 V / 3 A	± 15 V / 3 A
输入信号协议	XY2-100	XY2-100	XY2-100	XY2-100	XY2-100	—	XY-100	XY2-100
镜片反射波长	355 / 532 / 1064 / 10600 nm	355 / 532 / 1064 / 10600 nm	355 / 450 / 532 / 1064 / 10600 nm	355 / 450 / 532 / 1064 / 10600 nm	355 / 532 / 1064 / 10600 nm	—	1064 / 10600 nm	355 / 532 / 1064 / 10600 nm
镜片材质	Si	Si	K9 / Si	—	K9 / Si	Si / 石英	K9 / Si	K9 / Si
外形尺寸	85 × 87 × 110 mm	85 × 87 × 110 mm	85 × 87 × 110 mm	85 × 87 × 110 mm	85 × 87 × 110 mm	—	85 × 87 × 110 mm	85 × 87 × 110 mm
集成功能	—	—	—	平面打标 / 旋转轴 / Z轴 2.5D	—	—	—	—
输入孔径	—	—	—	—	—	8 / 10 / 14 mm	—	—
比例漂移	—	—	—	—	—	≤ 50 PPM/°C	—	—
长时间速移	—	—	—	—	—	≤ 0.5 mRad	—	—
功率承受	—	—	—	—	—	≤ 1000 W	—	—
整机重量	—	—	—	—	—	330 g	—	—
工作温度范围	—	—	—	—	—	0 ~ 45 °C	—	—
存储温度范围	—	—	—	—	—	10 ~ 60 °C	—	—
输出协议	—	—	—	—	—	XY2-100	—	—
反射率	—	—	—	—	—	—	> 99 %	—
机械扫描角度	—	—	—	—	—	—	≥ 16.5°	—
非线性度	—	—	—	—	—	—	> 99.9 %，至少 31 点拟合	—
面型	—	—	—	—	—	—	φ14 区域 1/2λ	—