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产品介绍
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5 µrad 高精度
高速扫描兼顾精密定位
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≤ 0.5 ms 响应
适配高速飞行喷码
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低温漂
比例漂移 ≤ 10 PPM/°C
产品参数 Product parameters
| 线性度 | ≥ 99.6 % |
|---|---|
| 重复精度 | 5 µrad |
| 小步阶响应时间 | ≤ 0.5 ms |
| 扫描角度 | ± 16.5° |
| 输入孔径 | 10 mm |
| 入射光斑 | 10 mm |
| 比例漂移 | ≤ 10 PPM/°C |
| 零点漂移 | ≤ 5 µrad/°C |
| 长时间速移 | ≤ 0.5 mrad |
| 功率承受 | ≤ 100 W |
| 镜片材质 | 硅晶 / 石英 |
| 电机重量 | 95 g |
| 工作温度范围 | 0 ~ 45 °C |
| 存储温度范围 | 10 ~ 60 °C |
产品详情 Details
高速高精度并存：5 µrad 重复精度配合 ≤ 0.5 ms 响应，满足 SLM 与晶圆级加工。
典型应用 Application Scenarios
