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3D动态聚焦系统
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3D动态聚焦系统
3D动态聚焦系统
产品列表
参数对比
ZS0312 三维动态前聚焦激光扫描振镜
ZS0612 三维动态前聚焦激光扫描振镜
ZS0630 三维动态前聚焦激光扫描振镜
ZS1230 三维动态前聚焦激光扫描振镜
参数
ZS0312 三维动态前聚焦激光扫描振镜
ZS0612 三维动态前聚焦激光扫描振镜
ZS0630 三维动态前聚焦激光扫描振镜
ZS1230 三维动态前聚焦激光扫描振镜
振镜通光口径（mm）
12
12
30
30
系统输入光斑直径（mm）
7
3
8
12
重复标刻精度（μrad）
10
10
15
15
适用波长
355 / 1064 nm
1064 nm
1064 nm
1064 nm
输入电压（VDC）
±15
±15
±15
±15
额定电流（A）
8
8
10
10
通信协议
XY2-100
XY2-100
XY2-100
XY2-100
重量（kg）
7
4
6
5
外形尺寸（mm）
200 × 100 × 101
335 × 90 × 102
413 × 120 × 149
378 × 120 × 149
工作偏转角（°）
±12.4
±10
±10
±14.3
最大增益漂移（ppm/K）
80
80
120
120
最大位置漂移（μrad/K）
30
30
50
50
8小时连续工作漂移（mrad）
≤0.4
≤0.4
≤0.3
≤0.3
跟随时间（ms）
≤0.20
≤0.20
≤0.7
≤0.7
最大加工速度（字符数/s）
240@100×100
240@600×600
240@600×600
150@1200×1200
当前位置：
